價(jià)格貨期電議
上海伯東代理德國普發(fā) Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市!ASM 39X 系列是針對(duì)大型檢漏部件設(shè)計(jì)研發(fā), 檢漏儀配有干式非接觸式前級(jí)真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內(nèi)置2臺(tái)渦輪分子泵, 可以加速檢漏流程, 降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間, ASM 390, ASM 392 對(duì)氦氣的快速抽空能力和較短的響應(yīng)時(shí)間使其成為同類型檢漏儀中的佼佼者
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢:
1. 強(qiáng)大的抽空能力
2. 極短的測試時(shí)間,
3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動(dòng)性強(qiáng)
5. 通過 CE 認(rèn)證, ETL 認(rèn)證, UL61010 合規(guī), 完全符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
6. 可用于半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)和平板顯示器行業(yè)以及其他要求極高的應(yīng)用
上海伯東 Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術(shù)參數(shù)對(duì)比:
型號(hào) | ASM 390 | ASM 392 | ASM 380 已停產(chǎn) |
檢測氣體 | 4He, 3He, H2 | ||
最小檢測漏率 | 真空模式: 1X10-12 mbar l/s | ||
對(duì)氦氣的抽速 | 10 l/s | 25 l/s, 內(nèi)置2臺(tái)分子泵 | 7 l/s |
前級(jí)泵抽速 | 35 m3/h | ||
進(jìn)氣口最大壓力 | 20 mbar | 20 mbar | 15 mbar |
無校準(zhǔn)的啟動(dòng)時(shí)間(20°C) | 2 min | 2 min | < 4.5 min |
進(jìn)氣口 | DN 40 ISO-KF | ||
響應(yīng)時(shí)間 | < 1 s | ||
Interface, 選配 | RS-232, I/O, Ethernet | ||
噪音 | ≤ 55 dB (A) | ≤ 55 dB (A) | 53 dB (A) |
重量 | 125 kg | 130 kg | 110 kg |
尺寸(LxWxH) | 1072 x 455 x 1025 mm | 1072 x 455 x 1025 mm | 1065 X 455 X 1025 mm |
移動(dòng)型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 應(yīng)用案例
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