（多通道光源成像圖）

系統(tǒng)功能特點(diǎn)

    √ 光源采用單向散射透鏡技術(shù)和準(zhǔn)直背技術(shù)，消除LED顆粒效應(yīng)
    √ 相機(jī)采用12K TDI相機(jī)，超高SNR與相應(yīng)范圍
    √ 鏡頭選用大光圈 低畸變 高M(jìn)TF工業(yè)鏡頭

（顯微組合圖）

顆粒檢查設(shè)備：
    1）使用灰度標(biāo)定法檢測玻璃基板表面的顆粒物。
    2）暗場照明，消除光照本身不均勻?qū)z測的影響。
    3）BOSCH潔凈室專用引動(dòng)器，帶來高精度、高加速度、高速度驅(qū)動(dòng)能力。
邊緣檢測設(shè)備：
    1）反射式成像，單一相機(jī)完成磨邊所有面檢測。
    2）明場照明方式，有效發(fā)現(xiàn)各類型缺陷。
    3）清晰度評價(jià)函數(shù)，準(zhǔn)確區(qū)分缺陷層次。
面檢/復(fù)檢設(shè)備：
    1）明場反射通道、尺寸通道、變形通道結(jié)合的三通道成像系統(tǒng)。使用頻閃技術(shù)解決相機(jī)復(fù)用問題。
    2）檢測點(diǎn)采用精密氣浮，確?；鍌鬏敺€(wěn)定。
    3）帶自動(dòng)增益控制與特制透鏡技術(shù)的光源，確保面檢成像清晰。