（多通道光源成像圖）

系統(tǒng)功能特點

    √ 光源采用單向散射透鏡技術和準直背技術，消除LED顆粒效應
    √ 相機采用12K TDI相機，超高SNR與相應范圍
    √ 鏡頭選用大光圈 低畸變 高MTF工業(yè)鏡頭

（顯微組合圖）

顆粒檢查設備：
    1）使用灰度標定法檢測玻璃基板表面的顆粒物。
    2）暗場照明，消除光照本身不均勻對檢測的影響。
    3）BOSCH潔凈室專用引動器，帶來高精度、高加速度、高速度驅動能力。
邊緣檢測設備：
    1）反射式成像，單一相機完成磨邊所有面檢測。
    2）明場照明方式，有效發(fā)現各類型缺陷。
    3）清晰度評價函數，準確區(qū)分缺陷層次。
面檢/復檢設備：
    1）明場反射通道、尺寸通道、變形通道結合的三通道成像系統(tǒng)。使用頻閃技術解決相機復用問題。
    2）檢測點采用精密氣浮，確保基板傳輸穩(wěn)定。
    3）帶自動增益控制與特制透鏡技術的光源，確保面檢成像清晰。